Inauguration de la Salle Patrick GAS

Université Paul Cézanne, Campus de Saint Jérôme, Marseille
vendredi 13 juillet 2007

Communiqué
Le laboratoire IM2NP et son équipe "Nanostructures Semi-Conductrices Epitaxiées" ont inauguré la salle Patrick GAS le vendredi 13 juillet 2007 en présence de Monsieur Philippe Tchamitchian, Président de l'Université Paul Cézanne, de Monsieur Michel Lannoo, Directeur du Département MPPU du CNRS, de Monsieur Ahmed Charai, Doyen de la Faculté des Sciences et Techniques, de Monsieur Bouchakour, Directeur du IM2NP et de nombreux représentants des laboratoires de physique de Marseille et d'industriels de la région.

Il s'agit d'une salle blanche dédiée à l’élaboration de structures modèles pour la micro et la nanoélectronique, située sur le campus de Saint-Jérome.

Cette salle de classe 10000 et d’une superficie de 150 m2 hors sas et locaux techniques comprend :
- une zone de préparation des substrats : nettoyage en classe 100, recuits
et oxydations rapides, RTA, RTO, nanolithographie par FIB (planifié 2007)
- une zone d’élaboration des structures par épitaxie par jets moléculaires
avec analyses in situ (spectroscopies de surface et diffractions
électroniques)
- une zone de nanocaractérisation : AFM, MEB (planifié 2007). Les études
menées dans ces locaux concernent les matériaux à base de Si et de SiGe pour
des applications en micro et en nanoélectronique. L’arrivée programmée
(2008) d’un nouveau bâti de dépôt sur des substrats 8 pouces, devrait
permettre d’intensifier les collaborations industrielles et le transfert
technologique vers l’industrie.

Le financement de l'installation a été assuré par le CNRS, l'Université Paul Cézanne, le contrat européen FORUM FIB et le contrat ANR Mémoire.

Pour plus d'information, contacter Isabelle Berbezier, Responsable de l'Equipe NSCE : isabelle.berbezier@IM2NP.fr


>> Discours d'Isabelle Berbezier


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