 | Hervé Carchano |
| IM2NP Faculté des Sciences et Techniques Avenue Escadrille Normandie Niemen Case 152 13397 Marseille Cedex 20 France | |
| téléphone : + 33 (0) 4 91 28 89 71 fax : +33 (0) 4 91 28 89 70 | |
| mail : herve.carchano@im2np.fr |
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Professeur, Université d'Aix-Marseille
Domaines d'activité :
Microcapteurs - microélectronique - couches minces - dépôts par plasma - surface - interface - réactivité
Publications récentes :
Bendahan M., Lauque P., Lambert-Mauriat C., Carchano H., Seguin J.L.- Sputtered thin films of CuBr for ammonia microsensors : morphology, composition and ageing.- Sensors and Actuators B, vol. 84, p. 6-11, 2002
El Hadadi B., Carchano H., Seguin J.L., Tijani H.- Structural and electrical properties of amorphous GaAs sputtered at high substrate temperature (220 and 400°C).- Vacuum, vol. 80, p. 272-283, 2005
