INSTITUT MATERIAUX MICROELECTRONIQUE NANOSCIENCES DE PROVENCE
UMR CNRS - Universités d'Aix-Marseille et Sud Toulon Var
Directeur : Rachid Bouchakour


Objectifs du laboratoire
-
Développer études fondamentales et couplages industriels
- Etablir une forte interaction entre recherche et enseignement
- Contribuer à une recherche universitaire de haut niveau en microélectronique et nanosciences, qui soit le pendant de l'activité industrielle dans ce domaine en Région Provence-Alpes-Côte d'Azur

Moyens humains
321 personnes (chercheurs CNRS, enseignants-chercheurs des Universités Paul Cezanne, de Provence, Sud Toulon Var, enseignants-chercheurs de l'ISEN, ingénieurs et techniciens du CNRS et des Universités, contractuels, doctorants, ATER, post-doc et visiteurs étrangers longue durée) (voir organigramme)

Moyens matériels
• Elaboration - synthèse : fusion en lévitation, dispositifs de solidification dirigée, dépôt de couches minces évaporation et pulvérisation magnétron, traitement thermique sous atmosphère contrôlée (conventionnel et rapide), élaboration de nanostructures : salle blanche classe 10000, banc de préparation des substrats classe 100
• Caractérisation physico-chimique : calorimétrie, calorimétrie différentielle à balayage, annihilation de positons, radiotraceurs, spectromètre à résonance paramagnétique électronique (RPE), spectromètre de masse, magnétomètre VSM, diffraction des rayons X, techniques de surface (AES, XPS, UPS, LEED)
• Microscopies : microscopies électroniques (balayage (MEB), transmission (MET), haute résolution (MEHR)), microscopies de champs proches (STM/AFM), focused ion beam (FIB)
• Mesures électriques, modélisation et caractérisation : environnement de test et de caractérisation électrique de composants et de circuits intégrés mixtes, environnement de simulation et de conception de dispositifs et de circuits intégrés, cartographie de paramètres électriques

Partenariats
ATMEL, CEA, CNES, CROCUS TECHNOLOGY, CYBERNETIX, DCNS, DGA, EADS, EDITAG, EUROCOPTER, GEMPLUS, INFINEON, INSIGHT, ION BEAM SERVICE, LUNEAU, NUMONYX, SENSEOR, SILIOS TECHNOLOGIES, STID, STMICROELECTRONICS, THALES, VEGATEC, WINLIGHT SYSTEM

Collaborations scientifiques
GDR CNRS (MECANO, C’Nano PACA, …)
Universités et Centres de recherche nationaux et internationaux

Réalisations
Participation aux programmes de l'Agence Nationale pour la Recherche
Projets européens (PCRD)
Participation aux Pôles de compétitivité (Solutions Communicantes Sécurisées, Mer Paca, Photonique, Capenergies, Risques Paca, Minalogic
• Participation au Réseau des Instituts Carnot : Institut Carnot STAR (Sciences et Technologies pour les Applications de la Recherche)
• Plateformes technologiques : ASTEP (Pic de Bure), ROSETTA (Paca); plateforme de caractérisation CIM-PACA, plateforme conception, plateforme micropacks

Productions [sur 5 ans]
• 700 articles dans des revues à comité de lecture internationales
• 885 communications à des colloques et congrès dont 122 conférences invitées
• 75 thèses et 15 habilitations à diriger des recherches
• 27 brevets

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