Equipe Microcapteurs

Equipe Microcapteurs Microsensors Team
Adresse : IM2NP Faculté des Sciences et Techniques Aile 1 - niveau 5, service 152 Avenue Escadrille Normandie Niemen 13397 Marseille Cedex 20 France	IM2NP Université du Sud Toulon-Var BP 32 83957 La Garde Cedex France
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décharge luminescente radio fréquence microcapteur de gaz	Thèmes de recherche : L’objectif général des activités de l’équipe est la réalisation et l'étude de micro et multi capteurs de gaz présentant des performances répondant aux contraintes industrielles de coût, sensibilité, sélectivité, stabilité. Ces travaux s’appuient sur la réalisation d’objets technologiques innovants et sur des études plus fondamentales concernant les matériaux constituant l’élément sensible et les mécanismes de détection à sa surface. Parallèlement, l’équipe développe des études de traitement des signaux et des données en vue d’améliorer la sélectivité des capteurs avec une orientation nez électronique. Conception, réalisation et caractérisation de nouveaux dispositifs capteurs de gaz. • Microcapteurs et multicapteurs de gaz (éléments sensibles WO₃, VO_2,VO₂-CeO₂) • Microsystème hybride pour la détection de gaz, à réponse à la fois optique et électrique • Microsystème fluidique, associant un microcapteur et un microcanal sur silicium • Nanostructures pour la détection des gaz • Matériaux nanostructurés et nano composites pour la détection des gaz (Ce0₂-CuO, CeO₂-Nd) Amélioration de la sélectivité des microcapteurs de gaz par traitement des signaux et des données • Spectroscopie de bruit des capteurs et multicapteurs de gaz • Analyse temporelle et fréquentielle des signaux électriques des capteurs et multicapteurs de gaz • Traitement statistique des données Projets en cours et prospective : « dispositifs innovants » • Microcapteurs imprimés sur support souple • Mémoires innovantes : Dispositif mémoire non volatile PMC « programmable metallization cell » • Condensateurs ferro-catalytiques pour capteurs type Microbalance ou ondes acoustiques de surfaces (SAW)
Mots clefs : Microcapteurs et multicapteurs de gaz, Nez électronique, Oxydes métalliques, Couches minces, , Spectroscopie de bruit, Nanomatériaux multifonctionnels, capteurs catalytiques, détection infrarouge, condensateur piézo-catalytique, Nanofils fiabilité.
Equipements spécifiques : Dispositifs de dépôts de couches sensibles : bâtis multi cibles de pulvérisation RF magnétron, bâtis d’évaporations, spin-coating, réacteurs de synthèse chimique (sol gel, …), nano poudres. Dispositifs de caractérisations électriques : Bancs de tests automatisés (DC, AC, Bruit électronique) pour microcapteurs et multicapteurs. Dispositifs de caractérisations physico-chimiqueS : Spectroscopie IRTF + analyse gaz émis f(T) , Ellipsomètre IR, Analyses thermiques hautes performances TG, DSC (Perkin), Microscopie AFM couplée à des mesures de conductivité (Resiscope). Utilisation de la salle blanche du LAAS pour la réalisation des microcapteurs et multicapteurs.
Partenaires : CEE, MEN, CNRS, REGION PACA, CG13, CMCU Industriels : SERES, VEGATEC, DGA, DASSAULT-AVIATION, CIBA (Italie), CESIGMA Collaborations : • Projet Région PACA en collaboration avec L’Institut Fresnel (Marseille) • PIR CNRS « Microfluidique et Microsystèmes fluidiques » avec l’équipe MHEQ de l’IUSTI - Projet labellisé en juin 2003. Financement complémentaire par le CG13 en partenariat avec l’entreprise SERES • ACI : NELI (Nez Electronique Intégré) (2004-2007) avec le LAAS (Toulouse) et l’Ecole des Mines de St Etienne. • Contrats : DGA-Arcueil, Dassault-Aviation, CIBA (Italie) • Contrat Européen : Nanostructures for Chemical sensors (2004 – 2007) • CIMPACA /MICROPOLY : Microélectronique Polymère & Jet de Matière/ Action Microcapteurs Imprimés • FEDER : 2004 • Action intégrée franco-tunisienne « CMCU » avec IPEST (Tunis, 2003 -2005) • Action Intégrée POLONIUM (Pologne) : 2002-2004 • Accords de co-tutelle de thèses Université AGH Cracovie-USTV, Universités Agadir-Marrakech-USTV, Université Natale, Brésil-USTV, Université du 7 novembre de Tunis. • Réseau projet capteurs gaz : CESIGMA (LaGarde-83), SERES (Aix-13)