Soutenance HDR Stéphanie Escoubas 14/11/2018 - Contraintes mécaniques dans les matériaux et les dispositifs de la microélectronique

Soutenance d’Habilitation à Diriger les Recherches

"Contraintes mécaniques dans les matériaux et les dispositifs de la microélectronique"

de Stéphanie Escoubas

Le 14 novembre 2018 à 10h30 en Amphi Rouard, Campus de Saint-Jérôme

Devant le jury :

M. DJENIZIAN Thierry, Professeur, Ecole des Mines de St Etienne, CMP Gardanne, Examinateur

M. DURAND Olivier, Professeur, Université Rennes INSA, Institut Foton, Rapporteur

M. FARCY Alexis, Ingénieur, STMicroelectronics Crolles, Invité           

M. GERGAUD Patrice, Ingénieur de recherche, CEA LETI, Grenoble, Rapporteur

M. NATOLI Jean-Yves, Professeur, Aix-Marseille Université, Institut Fresnel, Examinateur

M. RENAULT Pierre-Olivier, Professeur, Université Poitiers, Institut P’, Rapporteur

M. THOMAS Olivier, Professeur, Aix-Marseille Université, IM2NP, Examinateur              

Résumé :

Je présenterai une partie de mes travaux de recherche au sein de l’IM2NP, qui ont porté sur l’étude des contraintes mécaniques locales dans les matériaux et les dispositifs de la microélectronique. Le développement de méthodologies originales utilisant la diffraction de rayons X, accompagnées de simulations par éléments finis, nous a permis de remonter au champ de déformation à l’échelle nanométrique, pour des structures périodiques représentatives des dispositifs et des procédés de la microélectronique, que ce soit en utilisant un goniomètre de laboratoire en haute-résolution ou plus récemment grâce à des techniques spécifiques au rayonnement synchrotron. Pour finir j’exposerai les perspectives de ces travaux et l’ouverture vers de nouveaux projets de recherche.